A nanolitografia é o ramo da nanotecnologia que se preocupa com o estudo e a aplicação da fabricação de estruturas em escala nanométrica, ou seja, padrões com pelo menos uma dimensão lateral entre 1 e 100 nm.
A nanolitografia é a arte e a ciência de gravar, escrever ou imprimir no nível microscópico, onde as dimensões dos caracteres são da ordem de nanômetros (unidades de 10 a 9 metros ou milionésimos de milímetro).
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